Nyheter

Veteksemicon skinner på 2025 Shanghai SEMICON International Exhibition, og leder fremtiden til halvlederindustrien med innovative teknologier

I halvlederproduksjonsindustrien, ettersom enhetsstørrelse fortsetter å krympe, har deponeringsteknologien til tynne filmmaterialer gitt enestående utfordringer. Atomic Layer Deposition (ALD), som en tynn filmavsetningsteknologi som kan oppnå presis kontroll på atomnivå, har blitt en uunnværlig del av halvlederproduksjonen. Denne artikkelen tar sikte på å introdusere prosessstrømmen og prinsippene til ALD for å forstå dens viktige rolle i avansert brikkeproduksjon.

Det er ideelt å bygge integrerte kretsløp eller halvlederenheter på et perfekt krystallinsk baselag. Epitaxy (EPI) -prosessen i halvlederproduksjon har som mål å sette inn et fint enkeltkrystallinsk lag, vanligvis omtrent 0,5 til 20 mikron, på et enkeltkrystallinsk underlag. Epitaxy -prosessen er et viktig trinn i produksjonen av halvlederenheter, spesielt i silisiumskiving.