Bransjenyheter

Porøs Sic keramisk plate er et av kjernematerialene innen halvlederproduksjon. Med sin unike struktur og utmerkede fysiske egenskaper har porøs SiC keramisk plate blitt en uerstattelig nøkkelkomponent i høye temperaturer og etsende miljøer. I denne artikkelen vil vi dypt analysere dens fysiske egenskaper, applikasjonsscenarier og utvelgelsesfordeler.

Kvartsbåt er en viktig bærende komponent som brukes i halvlederproduksjonsprosessen. Det brukes hovedsakelig til behandling av høye temperaturer av skiver, for eksempel diffusjon, oksidasjon og glød. Den utmerkede termiske stabiliteten, lave forurensningskarakteristikkene og korrosjonsmotstanden gjør det til et uunnværlig materiale i halvlederindustrien. Denne artikkelen vil utdype de materielle, fysiske egenskapene, klassifiseringen, applikasjonsscenariene til kvartsbåt og dens forskjeller fra PECVD -grafittbåt.

Kjernen i PECVD-grafittbåt er isotropisk grafittmateriale med høy renhet (renhet er vanligvis ≥99.999%), som har utmerket elektrisk ledningsevne, termisk ledningsevne og tetthet. Sammenlignet med vanlige grafittbåter, har PECVD -grafittbåter mange fordeler med fysisk og kjemisk eiendom og brukes hovedsakelig i halvleder- og solcelleindustrien, spesielt i PECVD- og CVD -prosesser.