Bransjenyheter

Sic keramikk er et keramisk materiale produsert ved reaksjonen av silisium (SI) og karbon (C) elementer, med ekstremt høy hardhet, varmebestandighet og kjemisk stabilitet

I den høye innsatsen av halvlederfremstilling, er presisjon og stabilitet alt-og det er der den elektrostatiske chuck (ESC) tråkker inn. Langt mer enn bare et holdeverktøy bruker ESC elektrostatiske krefter for å sikre klemmer under kritiske prosesser som etsning, avsetning og ionimplantasjon. Men hvordan fungerer det egentlig? Hvorfor er det overlegen tradisjonell mekanisk klemme? Og hvilken rolle spiller det for å oppnå nanoskala nøyaktighet og gjennomstrømningseffektivitet? Velkommen til å lese.

Dechuck -prinsippet for den elektrostatiske chuck er en sentral del av arbeidsflyten som innebærer eliminering av elektrostatisk kraft og fronteringsmekanismer.