Nyheter

Denne artikkelen beskriver hovedsakelig de brede bruksutsiktene for silisiumkarbidkeramikk. Den fokuserer også på analysen av årsakene til sintringssprekker i silisiumkarbidkeramikk og de tilsvarende løsningene.

Etseteknologi i halvlederproduksjon møter ofte problemer som belastningseffekt, mikro-grooveffekt og ladeeffekt, som påvirker produktkvaliteten. Forbedringsløsninger inkluderer optimalisering av plasmatetthet, justering av reaksjonsgass -sammensetning, forbedring av vakuumsystemeffektivitet, utforming av rimelig litografisk utforming og valg av passende etsemaskerematerialer og prosessforhold.