Bransjenyheter

Tantal karbid (TAC) belegg kan utvide levetiden til grafittdeler betydelig ved å forbedre høye temperaturmotstand, korrosjonsmotstand, mekaniske egenskaper og termiske styringsfunksjoner. Dens høye renhetsegenskaper reduserer urenhetsforurensning, forbedrer krystallvekstkvaliteten og forbedrer energieffektiviteten. Det er egnet for halvlederproduksjon og krystallvekstapplikasjoner i høye temperaturer, svært etsende miljøer.

Tantal karbid (TAC) belegg er mye brukt i halvlederfeltet, hovedsakelig for epitaksiale vekstreaktorkomponenter, enkeltkrystallvekstnøkkelkomponenter, industrielle komponenter med høy temperatur, MOCVD-systemvarmere og skivebærere. Det er utmerket høy temperaturmotstand og korrosjon.

Under SiC epitaksial vekstprosessen kan SiC-belagt grafittsuspensjon feil oppstå. Denne artikkelen gjennomfører en grundig analyse av feilfenomenet til SiC-belagt grafittsuspensjon, som hovedsakelig inkluderer to faktorer: SiC epitaksial gasssvikt og SiC-beleggsvikt.