Bransjenyheter

Med den økende etterspørselen etter SIC -materialer i kraftelektronikk, optoelektronikk og andre felt, vil utviklingen av SIC -krystallvekstteknologi bli et sentralt område for vitenskapelig og teknologisk innovasjon. Som kjernen i SIC enkeltkrystallvekstutstyr vil termisk feltdesign fortsette å få omfattende oppmerksomhet og grundig forskning.

Gjennom kontinuerlig teknologisk fremgang og en grundig mekanismeforskning, forventes 3C-SIC heteroepitaksial teknologi å spille en viktigere rolle i halvlederindustrien og fremme utviklingen av elektroniske enheter med høy effektivitet.

Romlig ALD, romlig isolert atomlagsavsetning. Waferen beveger seg mellom forskjellige posisjoner og blir utsatt for forskjellige forløpere i hver posisjon. Figuren nedenfor er en sammenligning mellom tradisjonell ALD og romlig isolert ALD.